ART160直驱气浮转台:精密旋转检测的高洁净运动基准
在半导体晶圆检测、光学元件对准、精密角度计量等高端检测场景中，旋转轴的精度、稳定性与洁净度往往直接决定整机性能。厦门越昌科技推出的ART160直驱气浮转台，以气浮轴承结合直驱电机的架构，为精密旋转运动提供了一种高刚性、低误差、免润滑的解决方案，尤其适合对回转精度和洁净环境要求严格的检测设备。
ART160采用气浮轴承支撑，转子与定子之间由压缩空气形成微米级气膜，实现非接触旋转。相比传统机械轴承，它从根本上避免了摩擦、磨损、爬行和油脂污染问题，能够在长时间运行中保持稳定的回转精度，并适配洁净车间环境。配合无框力矩电机直驱与圆光栅闭环反馈，转台可实现角秒级重复定位精度与纳米级轴向、径向跳动控制，满足高精度角度分度、连续扫描和长时间稳定观测的需求。
在行业应用方面，ART160可广泛用于半导体晶圆缺陷检测、边缘形貌扫描和晶圆角度对准，帮助检测设备获得更稳定的成像与测量结果；在精密光学检测中，它适合光学镜片、反射镜、镜头组件的面型测量与多角度对准，降低回转跳动对干涉、成像和轮廓测量的影响；在精密计量与科研实验中，它可作为角度基准单元，用于圆度、同心度、垂直度等回转误差检测，也可与直线轴组合搭建多自由度检测系统。
ART160采用紧凑扁平结构，便于集成到多轴运动平台中，支持水平或垂直安装，可根据客户光路布局、负载条件、台面尺寸和通孔需求进行定制。对于正在开发晶圆检测设备、光学量测设备、精密角度标定平台及高端三坐标检测系统的客户，ART160直驱气浮转台能够以高洁净、低维护、高稳定性的旋转性能，提升整机检测能力与长期可靠性。