厦门越昌科技半导体设备精密位移台晶圆测厚仪，是专为半导体晶圆制程打造的高精度、非接触式厚度检测设备。设备搭载自研精密闭环位移运动平台，配合高速光学测量系统，可稳定完成硅晶圆、碳化硅、氮化镓等各类半导体晶圆的厚度、总厚度变化、翘曲度、平面均匀性等关键参数的全域检测。凭借定位精准、扫描均匀、测量重复性高、无损检测、适配洁净产线等优势，全面适配半导体晶圆制造、减薄抛光、先进封装与材料研发等精密质控场景。
在晶圆基材制造环节，该设备广泛用于原生晶圆出厂品质检测。通过精密位移平台实现全自动网格化扫描，无死角采集晶圆全域厚度数据，精准识别局部厚薄偏差、平面畸变等问题，从源头把控晶圆基底品质，保障后续光刻、镀膜、刻蚀等前道制程的工艺稳定性，有效降低批量不良风险。
在晶圆减薄与CMP抛光工序中，设备可实现在线工艺监控与抽样检测。高精度位移进给保证每次测量点位一致、数据可对比，能够实时反馈研磨、抛光后的厚度均匀性变化，帮助产线及时调整工艺参数，有效解决超薄晶圆加工过程中易出现的厚度不均、翘曲变形等行业痛点，适配先进超薄晶圆量产质控需求。
先进封装领域中，该测厚仪适配TSV通孔封装、扇出封装、芯片堆叠等高端工艺。非接触式检测方式不会损伤晶圆表面电路与镀膜结构，可精准检测超薄封装晶圆厚度与形变误差，保障划片、键合、倒装封装的装配精度，大幅提升芯片封装良率与产品可靠性。
同时，设备可满足第三代半导体材料、科研实验室的样品测试与工艺验证需求，适配多尺寸晶圆检测，支持离线检测与产线对接。厦门越昌科技依托精密位移控制与光学检测技术积累，为半导体行业提供稳定、高效、国产化的晶圆厚度精密检测解决方案。